Virtual Wafer Fab

VWF로 사용자는 실험 설계(DOE)및 최적화 등의 고급 분석 작업을 실바코 시뮬레이터에서 실시할 수 있습니다..

소개

실바코가 제공하는 가상 웨이퍼 팹(VWF)에서는 위와 같은 고난이도의 분석 작업에 대응할 수 있는 통계적 실험 계획(DOE)를 사용할 수 있습니다. 이 강력한 툴은 프로세스 최적화를 신속하게 수행할 수 있습니다. 단일 변수에 의한 실험을 대체하는 실험 설계 DOE는 순차적 근사법에 근거한 실험에서 볼 수 있는 불완전한 데이터의 문제를 해결함으로써, 필요한 현상의 이해와 결과를 빠르게 얻을 수 있습니다. 설정을 최적화 한 실험 계획을 활용하면 최소의 실험 횟수로 통계 모델을 평가하고 제품 개발에서 시장 출시까지 기간을 단축할 수 있기 때문에 실험 비용을 절감할 수 있습니다.

실바코가 제공하는 VWF는 시뮬레이션 조건을 자동으로 설정할 수 있습니다. 실바코가 제공하는 VWF는 시뮬레이션 조건을 자동으로 설정할 수 있습니다. 본 제품을 사용하면 개발 비용을 크게 줄일 수 있을뿐만 아니라 반도체 제품의 개발 주기에도 신속하게 대응할 수 있으며 적합한 신제품 출시 시기를 예측할 수 있습니다. VWF는 DOE의 대체용으로 사전에 지정한 목표값을 얻기 위해 로컬 및 글로벌 여러 최적화 전략으로 구성되는 최적화 프레임 워크를 사용할 수 있습니다. 이 프레임 워크는 프로세스 파라미터의 최적화 및 모델 파라미터의 보정 등의 작업을 자동화할 수 있습니다. VWF 소프트웨어는 여러 시뮬레이터를 조합하여 실행할 수 있습니다. VWF 소프트웨어는 단일 시뮬레이터를 실행하는 것으로 제한되지 않고, 사용자가 원하는 실바코의 사용가능한 시뮬레이션 툴을 조합하여 시뮬레이션의 전체 플로우를 최적화할 수 있습니다. 또한 대규모 병렬 처리를 실행하기 위해 Oracle Grid Engine(OGE)와 LSF 같은 그리드 컴퓨팅 소프트웨어를 이용할 수 있습니다. VWF는 사실상 병렬 처리에서 실행할 수있는 시뮬레이션 수에 제한을 두지 않습니다.

주요 특징

 

  • 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI)
  • SQL-92에 준거한 데이터베이스 엔진, XML파일로 데이터를 저장하는 파일, 모드, 시뮬레이션 한 데이터의 RSM 플롯을 각각 지원
  • 데이터베이스 간에 데이터를 복사할 수 있는 가져오기/내보내기 기능
  • Oracle Grid Engine과 LSF를 사용한 시뮬레이션의 대규모 병렬 처리가 가능
  • Excel 또는 OpenOffice 스프레드시트 형식으로 시뮬레이션 결과를 내보내기 가능

장점

 

  • VWF로 공정 시뮬레이션에서 SPICE 회로 성능 시뮬레이션에 이르는 플로우 전체 또는 일부를 표현 가능
  • 강력한 스크립트 인터페이스를 통해 DOE의 사용자 정의 및 백그라운드에서 실험을 수행, 최적값을 구하기 위한 복잡한 함수의 연산이 가능
  • 프로세스 특성(산화 막후 등), 소자 특성(문턱 전압 등), 회로 특성(시작 시간 등)을 플로우 전체에서 측정 가능
  • 각 실험 단위를 네트워크로 연결된 여러 호스트에서 실행하고 시뮬레이션 시간을 단축 가능
  • 다양한 실험 단위에 대해서 응답 모델을 생성하고 입력 파라미터가 출력 응답에 미치는 영향을 보다 유연하게 확인 가능
  • 입력 파라미터 및 측정된 출력 반응을 포함하는 전체 워크시트를 Spayn에 전송하여 통계적인 분석을 추가하고, TonyPlot에 전송하여 그래프로 표시가 가능
  • 고급 보안 기능을 통해 세밀한 접근 관리가 가능

적용

VWF에는 사용할 수 있는 컴퓨팅 하드웨어 클러스터를 최대한 활용하는 방법과 다양한 종류의 응용 프로그램을 자동화하는 방법을 제시하는 다수의 예제가 포함되어 있습니다. 구체적인 예는 다음과 같습니다:

  • 테스트 구조의 중요한 기하학적 특성(각층의 층 두께, 스페이서 폭, 게이트 길이 등)를 파라미터화하여 중요한 디바이스 특성에 미치는 영향을 조사합니다.
  • 최적화 알고리즘에 의해 프로세스 파라미터(게이트 산화 시간 및 온도, Vt 조절 주입량 및 에너지 등)을 변동할 수 있도록 설정하고 디바이스 특성의 목표값(주어진 임계값 전압 등)을 얻습니다.
  • 인버터의 GDS 파일에서 작업을 시작하여 해당 커패시턴스를 추출 및 분석하는 3D 백-엔드 프로세스를 시뮬레이션합니다.
  • 시뮬레이션 모델의 파라미터에 대한 완전히 자동화 된 캘리브레이션을 실행(스크립트에 의한 복수의 시뮬레이션을 하나로 통합하고 실행할 수 있어 매우 높은 유연성을 실현)

 

각 실험은 VWF 탐색기 또는 트리 보기 형식을 통해 액세스할 수 있습니다.
4개의 서로 다른 공정 파라미터 조합으로 드레인 전류에 대한 게이트 전압을 나타내는 그래프. 각 곡선은 선택된 셀 8.2(빨강), 8.5(녹색), 8.6(파랑), 8.9(하늘색)에 대응.

 

 

Spayn에서 생성된 RSM을 TonyPlot에서 확인. 링 오실레이터 주파수가 공정 파라미터(게이트 산화 시간과 Vt 주입량)의 함수로 표시되어 있습니다.

기술 사양

다음이 지원됩니다:

  • 표준 유형의 DOE 실험
  • 스크립트를 사용한 사용자 고유의 DOE 정의
  • 스프레드 시트(Excel)의 DOE 가져오기
  • 다양한 로컬 및 글로벌 최적화 전략
  • 오라클 그리드 엔진(OGE) 및 LSF 클러스터 컴퓨팅 소프트웨어