공정 시뮬레이션 프레임워크

3D

Victory Process는 레이아웃 기반의 범용 1D/2D/3D 공정 시뮬레이터로, 에칭/증착, 이온 주입, 확산, 산화 기능으로 구성됩니다. 오픈 모델링 인터페이스를 통해 독자적인 모델 및 공개된 연구 모델을 Victory Process에 통합할 수 있습니다.

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2D

Athena 프레임워크는 여러가지 공정 시뮬레이션 모듈을 사용자에 친숙한 환경으로 통합합니다. Athena는 세계적으로 저명한 스탠포드 대학의 시뮬레이터, SUPREM-IV에서 유래하며, 수많은 대학과 업계 파트너의 협력으로 여러가지 새로운 기능을 갖추게 되었습니다.

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Rev. 042313_22