MaskViews

Integrated Layout Editor

MaskViews는 간편하면서도 강력한 레이아웃 에디터로서, GDS2 또는 실바코 레이아웃 포맷으로 레이아웃 파일을 읽고, 쓰고, 만들고, 편집할 수 있습니다. MaskViews는 실바코의 3D 기생 제품과 실바코의 공정/광리소그래피 툴에 밀접하게 통합되어, 다양한 기능을 제공합니다.

주요 특징

  • 간편하고 직관적인 GUI 인터페이스를 제공합니다.
  • 표준 GDS2 또는 실바코 레이아웃 포맷을 가져오기/내보내기 할 수 있습니다.
  • 실바코 레이아웃 포맷으로 마스크 레이어를 직접 명명할 수 있으므로, 레이어 테크놀로지 파일이 필요없습니다.
  • 공정, 광리소그래피, 기생 시뮬레이션 제품과 밀접하게 연결됩니다.
  • 컷라인 기능으로 Athena의 2D 공정 시뮬레이션에 내보내기 할 수 있습니다.
  • 컷라인 기능으로 공정 시뮬레이션에 필요한 자동 메쉬를 생성합니다.
  • 전체 마스크 레이어 또는 개별 마스크 기능에 대해 마스크 투과율, 위상 천이 속성을 설정할 수 있습니다.
  • 크기 조절, 잘라내기, 복사, 이동 회전 등 일반적인 레이아웃 조작 기능을 모두 지원합니다.

명확하고 알기 쉬운 GUI 인터페이스.

 

적용

  • MaskViews는 컷라인 단면 파일을 생성하여, Athena 2D 공정 시뮬레이션에 직접 내보내기 할 수 있습니다.
  • 각 마스크 레이어에 위상 및 투과율 데이터를 부가하여, 실바코의 광리소그래피 모듈인 Optolith에서 사용합니다.
  • MaskViews는 실바코의 3D 기생 RC 솔버인 Clever에 밀접하게 연결되므로, Clever에서 생성한 파생 레이어 및 자동 전극을 확인하여, 사용자가 만든 테크놀로지 파일을 디버깅할 수 있습니다.
  • 2D 표면 또는 1D 전극을 생성 또는 부가하여, Clever에서 사용할 수 있습니다.
  • 또한, MaskViews를 GDS2, CIF, 실바코 레이아웃 포맷 파일을 위한 독립적인 뷰어/에디터로서 사용할 수 있습니다.
  • 실바코 레이아웃 포맷으로 파일을 생성하거나 저장할 때, 임의로 레이아웃의 이름을 사용할 수 있으므로, 레이아웃을 GDS2보다 상당히 명확하게 합니다.
어떤 형태도 편집할 수 있습니다.

 

장점

  • 매우 직관적이어서, 마스크 레이아웃을 거의 즉각적으로 설계, 수정할 수 있습니다. 일반적으로 매뉴얼을 참조할 필요가 없습니다.
  • MaskViews는 Athena에 필요한 그리드 자동 생성 등 수많은 특수 기능을 제공합니다. 이 간단하면서도 강력한 툴은 실바코 또는 Simucad 디자인 플로우에 밀접하게 통합됩니다.
테스트 마스크를 Optolith와 사용하여 멀티 핑거 테스트 패턴의 180°위상 천이를 나타냅니다. 모든 마스크 동작은 실행이 매우 쉽습니다.

 

ATHENA 2D Process Simulator ATHENA - 2D Process Simulator ATHENA 2D Process Simulator

Rev. 062613_02