DevEdit

Structure and Mesh Editor

DevEdit은 스크래치(scratch)로부터의 소자 생성 또는 기존 소자의 메쉬 재구성/편집에 사용할 수 있습니다. DevEdit는 실바코의 2D/3D 시뮬레이터 및 기타 지원 툴에 간단하게 통합되는 표준적인 구조를 생성합니다.

커맨드에 의한 강력한 배치 모드로, DevEdit는 DeckBuild에서 바로 사용할 수 있습니다. 커맨드 모드에서 DeckBuild 또는 VWF에 의해, DevEdit 구조를 파라미터화하여 자동으로 변경할 수 있습니다. 이러한 구조를 시뮬레이션하여 소자의 확장 특성과 코너 특성을 시험할 수 있습니다. DevEdit의 배치 모드는 기존 구조의 메쉬를 반자동적으로 재구성할 수 있습니다. DevEdit는 소자 시뮬레이션에 앞서 공정 시뮬레이션 구조의 메쉬를 재구성하여 시뮬레이션을 크게 줄입니다. 유사하게, DevEdit는 부분적인 구조를 미러링, 확장 또는 복제하거나, 복수의 구조로 전체적인 소자를 형성함으로써, 공정 시뮬레이션에 소요되는 시간을 절약합니다.

또한, DevEdit는 완벽하게 대화형 GUI로 동작하므로, 소자를 바로 그리거나 편집할 수 있습니다. 소자를 직접 생성하므로, 시뮬레이션에서 공정의 세부 사항을 최적화하거나, 공정을 인지할 필요도 없습니다. 가상 공정을 최적화하는데 쓰이는 불필요한 시간 낭비를 방지하므로 생산성을 개선합니다. DevEdit를 이용하여, 소자를 실험하고 퍼포먼스를 최적화할 수 있습니다. 수정된 소자는 공정 엔지니어에게 피드백되어, 제조 여부를 결정하게 됩니다. DevEdit는 다수의 강력한 툴을 접목하여, 도핑 정보의 기초로서 1D 도핑 프로파일을 로드하는 등의 편집 기능을 지원합니다.
[참고: GUI 모드는 리눅스에서 사용가능합니다]

대화형 및 배치 모드 DevEdit에서 광범위한 메쉬 재구성 기능이 제공됩니다. 메쉬를 구성하는 동안, 수많은 솔루션을 개별적으로 검토하여 메쉬 개조에 사용할 수 있습니다. 또한, relax/refine box를 이용하여, 메쉬를 바로 수정할 수 있습니다.

영역 편집

  • 임의의 물질 및 다각형 형태로 영역을 설정합니다.
  • 물질, 형태, 또는 기본 불순물을 변경하여, 기존 영역을 수정합니다.
  • 기존 소자에 새로운 영역을 추가합니다. 이 때, 자동으로 영역 일부를 식각하거나 변경되지 않은 상태로 유지합니다.
  • 전극의 위치, 이름, 일함수를 정의합니다.

도핑 편집

  • 가우시안 또는 상보적 오차 함수 등의 해석적인 도핑 프로파일을 부가합니다.
  • 다수의 2D 소자를 결합하여, 신규 2D 도핑 프로파일을 생성합니다.
  • 1D 도핑 프로파일을 가져옵니다.
  • 1D 도핑 프로파일에 해석적인 도핑 프로파일을 더하여, 빠르고 실제적인 도핑 분포를 생성합니다.
Atlas by Blaze/Blaze3D 시뮬레이션을 위해, DevEdit로 비평면 HBT 구조를 생성할 수 있습니다.

 

2D 메쉬 구성

  • 최소의 둔각 삼각형으로 고품질의 삼각형 메쉬를 생성합니다.
  • 영역 내에서 세부 항목을 사용할 수 없는 요소를 제거할 때, 정제 조건을 이용하여 메쉬의 세부 사항을 보존합니다.
  • 물질의 유형, 품질 변화, 위치 또는 상대적인 위치 등 여러가지 기준으로, 보존되는 세부 사항을 제어합니다.

3D 메쉬 구성

  • 2D 메쉬에 사용한 것과 동일한 알고리즘으로, 고품질의 각기둥 또는 사면체를 생성합니다.
  • 이해할 수 있는 1 평면의 정제 조건을 간단하면서도 유연한 평면 생성 알고리즘에 의해 3차원으로 확장할 수 있습니다.

인터페이스

  • Athena, Atlas등의 공정, 소자 시뮬레이터로 생성한 2D 구조를 읽습니다.
  • Athena로부터 1D 도핑 프로파일을 읽습니다
  • Athena, Atlas등의 공정, 소자 시뮬레이터에 필요한 2D 구조를 작성합니다
  • Victory Device등의 소자 시뮬레이터에 필요한 3D 구조를 작성합니다.
NMOS 소자가 접합부 주변(검은 선)에서 DevEdit의 고급 메쉬 정제를 표현합니다 후속 Atlas 시뮬레이션에서 높은 수준의 정확성을 얻기 위해, DevEdit의 constraint mesh box 기능으로, 게이트 산화 채널에서 메쉬의 밀도를 높입니다.
Atlas 시뮬레이션으로 얻은 3D 구조의 메쉬를 재구성하기 위해 DevEdit를 사용합니다. DevEdit는 수많은 툴을 포함하여, 소자를 간단하게 생성합니다. Circle 툴은 베이스 산화막 위에 CCD 렌즈를 놓습니다.
DevEdit의 배치 모드는 시뮬레이터처럼 기능하여, 파라미터화(구조, 도핑, 메쉬)를 수행합니다.

 

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