True 3D field solver with advanced lithography and realistic etch deposition models

RC Extractor for Realistic 3D Structures

Clever는 물리 기반 RC 추출 툴로서, GDSII 마스크 데이터와 공정 정보를 이용하여, 자체 식각/증착 프로세서 및 광리소그래피 시뮬레이터로 MEMS, 고급 CMOS, TFT, 메모리 셀 등에 대한 실제적인 3D 구조를 생성합니다. Clever는 추출한 RC를 SPICE 넷리스트에 백-애노테이션합니다. 액정 디스플레이(LCD) 시뮬레이터는 Clever 프레임워크를 통해 액정 디렉터 및 전기장 및 기생 커패시턴스에 미치는 영향을 시뮬레이션할수 있습니다.

소개

현재의 나노 요법 공정 기술과 증가하고 있는 클록 속도의 요구에 대응하기 위하여, 근본적으로 고속 시스템의 전체적인 동작 성능을 제어하는 인터커넥트 구조는 온 - 칩 신호 무결성을 달성하기 위해 완전하고 정확하게 특성화되어야 합니다. 대규모 회로 설계와 수축 공정 기술, 와이어 저항, 캐패시턴스 및 인덕턴스 또는 기생은 회로 성능에 상당한 영향을 미칩니다. 인터커넥트 기생의 주요 영향은 다음과 같습니다: 신호 지연, 신호 노이즈, IR 드롭(전압의 저항 성분). 이러한 신호 무결성 문제와 과제는 다음을 포함한 전체 세트로 이어집니다:

  • 긴 실행 시간 (정확도의 다른 레벨에 대한 트레이드 오프)
  • 바람직한 정확도로 빠른 계산 방법

 

Clever는 필드 솔버 기반의 1D, 2D 및 3D RC 추출 도구로서, 파운드리와 팹리스 디자인 하우스에 서로 다른 엔지니어링이 기생 추출 문제를 해결하기 위해 필요한 정확한 인터커넥트 모델을 얻을 수있는 기능을 제공합니다.

주요 특징

  • 고급 리소그래피를 갖춘 진정한 3D 필드 솔버
  • 매우 정확한 RC 추출
  • 지오메트리 크기에 무제한
  • 백-엔드 공정 및 레이아웃 파라미터의 함수로서, 회로의 퍼포먼스를 최적화하기 위한 고속 피드백
  • 멀티 코어 및 다중 프로세서 지원 병렬 처리
  • 경계 조건, 물성 및 솔루션의 허용 오차 제어를 사용자가 선택 가능
  • 즉각적인 SPICE 분석을 위해, 추출된 능동 소자 넷리스트에 필드 솔버를 적용한 저항과 캐패시턴스를 자동으로 백-애노테이션
  • 리소그래피 효과, 디포커스 및 deltaCD를 재생할 수 있는 업계에서 유일한 RC 추출기
  • LCD 시뮬레이션을 위한 완벽한 결합 전기장 및 디렉터 필드 시뮬레이션
  • 액정 셀에서 전압 가변 기생 추출
  • 실바코의 강력한 암호화로 고객 및 서드-파티의 소중한 지적 재산권을 보호

장점

Clever는 실제 에칭 및 증착 공정을 포함한 대부분의 복잡한 상호 셀에 가장 정밀도, 생산성 및 융통성을 제공합니다. 로컬 원격 검침 기능은 사용자가 원하는 정밀도를 지정할 수 있습니다. Clever는 필요한 구조화 되지 않은 메쉬를 자동으로 조절하고 최대의 정확성을 허용합니다.

적용

TFT, 터치 패널 및 LCD 등의 평판 디스플레이

 

전기장 분포 터치 패널 소자의 레이아웃

 

원형 및 원뿔형 비아(via) 산화 절연체를 제거한 후의 6개의 메모리 셀 즉,
부분적으로 완성된 SRAM 어레이의 SEM 사진 (IBM).

 

SRAM 및 플래쉬 메모리 셀

SRAM 셀의 3D 구조