Integrated into Virtual Wafer Fab (VWF) to allow Design Of Experiments (DOE) and optimization features

3D RF Passive Device Modeling

Quest는 RF SPICE 분석을 위해, 멀티-포트 네트워크에 대한 3D 주파수 의존형 인덕턴스, 저항, 캐패시턴스 및 캐패시턴스 손실을 계산합니다. Quest는 GDSII 레이아웃에서 W-엘리먼트 전송 선로, 인덕터 및 MIM 캐패시터에 필요한 주파수 의존형/독립형 SPICE 모델을 생성합니다.

주요 특징

  • 주파수 의존형/독립형 나선형 인덕터의 표준 SPICE 모델을 GDSII 레이아웃과 테크놀로지 파일에서 바로 계산
  • 주파수 의존형 W-엘리먼트 전송 선로 SPICE 모델을 GDSII 레이아웃과 테크놀로지 파일에서 바로 계산
  • 임의의 레이아웃과 구조에 대해, RF SPICE에서 사용할 수 있는 주파수 의존형 멀티-포트 S-파라미터 모델을 GDSII 레이아웃과 테크놀로지 파일에서 바로 계산
  • 도체 사이의 L, C 또는 R 커플링 효과를 계산
  • 손실 유전체를 설명하기 위해 복소 유전율과 주파수 의존형 물질 유전율을 포함
  • VWF(Virtual Wafer Fab)에 통합되어 DOE(Design Of Experiments)와 최적화 가능
  • 실바코의 강력한 암호화는 고객 및 서드-파티의 소중한 지적 재산권을 보호하기 위해 이용가능

고급 물리학

  • 유사-정적 맥스웰 방정식을 풀기 위한 가상 도메인 메소드
  • 3D 사면체 메쉬 아님
  • 듀얼 메쉬 알고리즘은 시뮬레이션 속도를 향상시키고, 메모리 소비를 줄여서, 대규모 구조의 분석 가능
  • 기판(substrate) 저항 및 표면 깊이(skin depth)가 미치는 영향을 계산
  • 진정한 물리 기반 시뮬레이터로 임의의 구조를 정확하게 추출
  • 고속 시뮬레이션으로, 전체 주파수 분석과 현실적인 DOE 시뮬레이션 시간을 실현
  • 동일 레벨에서 다수의 메탈(metal)
  • 4 포트를 2 포트로 변형
  • 사다리꼴 메탈 형태
  • 복소 유전율과 주파수 의존형 물질 유전율
  • 임의의 멀티-포트 레이아웃으로 정의된 구조에 대해 RF SPICE 주파수 도메인 분석

자동화된 멀티-포트 S-Y-Z 파라미터 생성

균형 인덕터(balanced inductor)에 대한 S-파라미터 출력 예
STM Tours가 측정값을 제공하고 작업을 수행하는데 도움을 주었음을 알려드립니다.
10GHz PGS(Patterned Ground Shield)에서 계산한 전류 커플링 Quest를 이용한 RF MIM 캐패시턴스 분석

 

생산성과 범용성

  • VWF의 DOE 기능으로 디자인 최적화를 위해 멀티 CPU 머신에서 수많은 실험을 수행
  • 멀티-스레드 GA, LM 옵티마이저로 VWF, DeckBuild에서 최적화
  • 기존 인덕터/전송 디자인 라이브러리를 재추출하여, 공정 기술의 버전업 또는 2차 원천 제조 설비에 필요한 성질을 분석
  • 측정 데이터를 처리하기 위해 복소수 계산을 포함하는 자바스크립트 인터페이스
  • 미리 정의하거나 사용자가 정의한 P-cell로부터 인턱터를 생성하여, 레이아웃에 기초한 DOE 허용

DeckBuild에 내장된 Commands 팝업 인터페이스는 커맨드 입력 파일 생성을 간단하게 합니다.

 

사용의 편이성

  • DeckBuild GUI 인터페이스를 통해 모든 프로그램 조작 및 기능에 액세스
  • 전극 자동 생성을 위해 GDSII 파일에 라벨과 패드를 부가 가능
  • Silvaco의 Interactive Tools, TonyPlot, TonyPlot 3D외에, Silvaco의 레이아웃 에디터 Expert, Utmost IV와 완벽하게 통합
  • 측정값과 Quest 시뮬레이션 결과를 직접 비교하기 위해, .citi, .csv 포맷의 측정된 S-파라미터 파일에서 Quest S, Y, Z-파라미터 출력으로 변환

미리 정의하거나 사용자가 정의한 P-cell에서 레이아웃에 기초한 DOE에 의해, PDK 생성과 인덕터의 성능 분석이 가능합니다.

VWF에서의 Quest 시뮬레이션 트리뷰
레이아웃 변수와 출력 결과가 있는 VWF 워크시트
자동화된 레이아웃 및 구조 생성 교차점에 생성된 인덕터의 확대
PDK 생성을 위해, Utmost IV 추출 결과를 Spayn에 로드된 워크시트에서 바로 사용할 수 있습니다
최적화 실험의 그래픽 뷰. 목표를 최소화하는 최상의 결과가 녹색으로 나타납니다.
목표한 실험 Q 팩터 커브에 대해 얻어진 최적화 공정 파라미터

Quest Inputs/Outputs

Rev. 042313_21