More About Parasitic
Extraction Services:

Brochure 1.7 MB

Products Used:

EXACT
Full Chip LPE Rule File Generator

QUEST
3D High Frequency Inductance Extractor

CLEVER
RC Extractor for Realistic 3D Structures

STELLAR
3D Physics-Based RC Extractor for Large Cells

Parasitic Extraction Services

수동 엘리먼트 및 셀 레벨 기생 추출 서비스는 셀 레벨 수동 엘리먼트와 기생 모델링이 가끔씩 필요한 고객을 위한 솔루션을 제공합니다. 모든 추출은 룰이 아닌 물리에 기초하므로, 새로운 구조도 모든 커플링 효과에 대해 정확하게 분석할 수 있습니다. 실바코의 EXACT와 QUEST는 수동 엘리먼트 추출 서비스에 사용합니다. CLEVER는 셀 레벨 추출 서비스에 사용합니다.

EXACT를 활용한 인터커넥트 기생 캐패시턴스 계수 추출 서비스

나노미터 반도체 공정에 필요한 가장 정확한 인터커넥트 모델을 제공하여, 주요 full-chip 추출 툴을 위한 레이아웃 파라미터 추출(LPE) 룰 파일을 생성하기 위한 인터커넥트 기생 계수 생성 패키지. EXACT는 강력한 3D 필드 솔버 기술을 사용합니다.

EXACT에서 만들어 사용하는 3D 테스트 구조의 예.

전형적인 산출물.

QUEST를 활용한 RF 수동 엘리먼트 추출 서비스

• 2-포트 인덕터를 분석하여, 주파수에 종속하거나 주파수에 독립적인 GHz급 SPICE 인덕터 모델 제공
• 수동 엘리먼트, W-엘리먼트 전송 라인 SPICE 모델 추출에 대한 멀티-포트 S, Y 또는 Z 파라미터 분석
• 고객의 공정 능력 및 바람직한 인덕턴스 영역(GDSII 포함)에 기초하여, 최적화된 인덕터 라이브러리를 턴키 방식으로 생성

산출물

• 주파수 종속성 인덕터 모델, 멀티-포트 S-파라미터, W- 엘리먼트 전송 라인 엘리먼트, RLCG, Q 지수 데이터 파일, 3D 구조 파일, 대화형 2D/3D 그래픽
  

GDSII 레이아웃으로 생성한 전형적인 나선형 인덕터.	여러번 휘어진 나선형 인덕터에 대해 생성된 주파수 종속성 Q 지수.

CLEVER를 활용한 고정밀 비트 셀 RC 추출 서비스

• 셀 레벨 필드 솔버는 추출된 SPICE 넷리스트에 백- 애노테이션되는 자동화된 저항과 캐패시턴스 인터커넥트 기생을 제공
• 포토-레지스트 코너 라운딩을 포함하기 위하여, 광 리소그래피 시뮬레이터를 사용하여 RC 모델링한 3D 구조
• OPC(Optical Proximity Correction)를 포함하는 마스크를 정확하게 모델링
• 필드 솔빙에 앞서 소자 구조의 가장 사실적인 3D 모델을 생성하여, 가장 정확한 기생 추출을 실현하기 위해 RC 추출에 포함된 실제적인 증착/식각 공정

산출물

• 능동 소자 및 RC 기생이 있는 SPICE 넷리스트, 능동 소자의 연결을 보여주는 애노테이션 레이아웃 파일, 대화형 2D/3D 그래픽

금속 지오메트리에 대한 리소그래피 효과는 결과적으로 캐패시턴스에 상당한 영향을 미칠 수 있습니다.

CLEVER는 기생 R과 C를 추출하여, 추출된 능동 소자 SPICE 넷리스트에 백-
애노테이션하기 위해 3D 필드 솔버를 사용합니다.

Rev 082610_08