VICTORY STRESS

3D Stress Simulator

VICTORY STRESS는 결정 방향의 탄성 계수 의존성 등, 포괄적인 물질 응력 모델을 사용하여 3D구조에 대한 응력과 이동도 증가 인자를 계산하도록 설계된 3D 응력 시뮬레이터입니다.

주요 특징

• 단결정 실리콘에 대한 포괄적인 3D 이방성 응력 시뮬레이션
• 응력 해석은 전체 소자 구조에 대해 실행할 수 있으며, 물질의 등방성 및 이방성 특성, 경계 조건, 초기 조건을 설명합니다.
• 물질 간 열적 부정합(thermal mismatch) 시뮬레이션
• 이동도 향상 인자(mobility enhancement factor)의 예측
• 증착된 물질 층의 내성 응력을 설명
• 캡핑 층(capping layer)에 대한 유체정역학적 응력(hydrostatic stress)
• VWF의 “실험의 설계 (Design of Experiments, 이하 DOE)”는 게이트 길이나 두께 격차 등의 공정 파라미터에 의존하는 응력을 해석하는데 사용할 수 있습니다.

Rev. 021810_03