VICTORY PROCESS는 범용 3D 공정 시뮬레이터입니다. VICTORY PROCESS는 완벽한 공정 플로우 코어 시뮬레이터와 3개의 고급 시뮬레이션 모듈을 포함합니다: Monte Carlo Implant, Advanced Diffusion and Oxidation, Physical Etch and Deposit. 오픈 모델링 인터페이스를 이용하여, 공개 연구 모델 및 독자 모델을 쉽게 VICTORY PROCESS에 통합할 수 있습니다.

주요 특징

• 기판 물질 재증착으로 물리적인 증착 및 식각을 위한 정교한 다입자 및 유속 모델
• 고정밀, 고속 몬테 카를로 이온 주입 시뮬레이션
• 광범위한 3D 확산 모델 세트: 페르미, 3-스트림, 5-스트림
• 응력(stress) 해석을 갖춘 3D 물리 산화 시뮬레이션
• 3D 구조의 프로토타입을 신속하게 만들어서, 특정 공정 이슈를 물리적으로 세밀하게 분석
• 3D 토폴로지, 3D 불순물 분포를 정확하게 예측
• 자동 메쉬 및 적응성 메쉬 조절(Adaptive Mesh Refinement, 이하 AMR)
• 몬테 카를로 이온 주입, 확산, 산화, 물리적 식각 및 증착 등, 시간에 민감한 조작을 멀티-스레드로 효율적으로 실행
• 오픈 아키텍처로 고객의 특정 물리 모델을 쉽게 도입하여 수정 가능
• 구조 미러링, 적응성이 있는 불순물 조절, 전극 설정 등, 3D 소자 시뮬레이터와 빈틈없이 연결

Rev. 032310_11