SSuprem4

2D Core Process Simulator

SSuprem4는 다양한 제조 기술의 설계, 분석, 최적화 등에 대해 반도체 업계에서 폭넓게 이용하는 2D 공정 시뮬레이터입니다. SSuprem4는 확산, 이온 주입, 산화, 식각, 증착, 실리사이드, 에피택시, 응력 형성 등 광범위한 물리 모델에 사용되어, 현대 기술의 모든 주요 공정 단계를 정확하게 시뮬레이션합니다. ATHENA 프레임워크 내에서, SSuprem4는 광리소그래피에 쓰이는 Optolith, 식각/증착에 쓰이는 Elite, 고급 몬테 카를로 이온 주입에 쓰이는 MCImplant와 완벽하게 통합됩니다.

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