SSuprem3는 포괄적인 범용 1D 공정 시뮬레이터로서, 반도체 공정에서 만들어지는 도핑 프로파일과 레이어의 두께를 예측하는데 사용합니다. SSuprem3는 정확하고, 매우 빠르며, 사용자에게 친숙하여, 공정 단계의 전체 플로우를 분 단위로 시뮬레이션할 수 있습니다. SSuprem3는 DeckBuild에서 공정 시뮬레이션 입력 파일의 편집을, TonyPlot에서 그래픽 및 후공정(post-processing)을 대화형으로 실행할 수 있습니다. SSuprem3는 소자 시뮬레이터에 대한 인터페이스를 제공하여, 소자 레벨 시뮬레이션에 필요한 시뮬레이션 프로파일을 입력할 수 있게 합니다. SSuprem3는 내장된 전기적 솔버를 이용하여, 문턱 전압을 추출합니다.

Rev. 112107_05