MC Deposit/Etch

2D Monte Carlo Deposition and Etch Simulator

MC Deposit/Etch는 고급 토폴로지 시뮬레이션 모듈로서, ATHENA 프레임워크를 통하여 Elite와 유연하게 연결됩니다. 이 모듈은 식각/증착 공정 시뮬레이션에 대해 원자 입자의 흐름을 이용한 몬테-카를로 기반 모델을 포함합니다.

Rev. 122107_08