Elite

ADVANCED PHYSICAL ETCHING AND DEPOSITION SIMULATOR

Elite는 현대 반도체 기술에 필요한 물리적 식각, 증착, 리플로우(reflow), CMP 평탄화 공정 등에 쓰이는 고급 2D 표면 형태 시뮬레이터입니다. ATHENA 프레임워크에서, Elite는 SSuprem4, Optolith 공정 시뮬레이터와 유연하게 양방향 통합됩니다. 또한, MC Deposit/Etch 시뮬레이터를 포함하여, 몬테-카를로에 기초한 원자의 식각 및 증착 모델을 다수 제공합니다.

Rev. 122107_07