ATHENA 1D는 업계 표준인 ATHENA 2D 공정 시뮬레이터 성능의 1D 모드입니다. ATHENA 1D는 반도체 공정에서 만들어지는 불순물 분포와 두께의 예측에 사용되는 포괄적인 범용 1D 공정 시뮬레이터를 구성합니다. 다양한 제조 기술의 설계 및 최적화를 위해, 반도체 업계에서 폭넓게 사용되는 실바코의 2D 공정 시뮬레이터 ATHENA와 동일한 물리 모델을 사용합니다. 따라서, ATHENA 1D는 매우 정확하고, 대단히 빠릅니다. ATHENA 1D는 몇 분만에 전체 공정 플로우를 시뮬레이션할 수 있습니다. 또한, DeckBuild 실행 환경 및 TonyPlot 그래픽 패키지와 함께 제공되므로, ATHENA 1D는 사용하기 편리합니다. 그러므로, ATHENA 1D는 내장된 옵티마이저와 Design Of Experiment 기능뿐만 아니라, 입력 파일 편집같은 DeckBuild의 모든 기능을 이용할 수 있습니다.

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