VWF

VIRTUAL WAFER FAB

VWF는 실험 설계(Design of Experiments, 이하 DOE) 및 최적화 실험(Optimization Experiments)을 수행하는 소프트웨어입니다. 다양한 사전-정의 분석 메소드에서 분할-로트를 이용할 수 있습니다. 실바코의 모든 공정, 소자, 기생 추출 및 회로 시뮬레이터에 대해 분할 파라미터를 정의할 수 있습니다. 워크스테이션 그룹 또는 싱글 SMP 머신에서 모든 시뮬레이션을 병렬로 처리합니다. VWF는 GUI 형태로, 실험 결과를 시험할 수 있습니다.

주요 특징

• VWF로 공정 시뮬레이션부터 spice 회로의 퍼포먼스에 이르는 플로우의 전체 또는 일부를 표현
• 유연한 시스템으로 마스크, 공정 파라미터, 소자 파라미터, 회로 파라미터 및 튜닝 계수를 자유롭게 조합하여 입력 파라미터로서 정의
• 실험을 Box Behnken같은 DOE, Levenberg-Marquardt같은 최적화 알고리즘, 사용자 정의 스크립트를 통해, 자동 또는 수동으로 입력 파라미터를 변화시켜 정의
• 강력한 스크립트 인터페이스로 전체 DOE를 사용자 정의하고 백그라운드에서 실험을 실행
• 전체 플로우에서 산화막 두께 등의 공정 특성, 문턱 전압 등의 소자 특성 또는 상승 시간 등의 회로 특성을 측정
• 호스트의 네트워크에서 각 실험 변화를 실행시켜 시뮬레이션 시간을 단축
• 실험적인 확장에 대한 반응 모델을 생성하고 입력 파라미터가 출력 반응에 미치는 영향을 러버밴드형으로 확인
• 입력 및 측정된 출력 반응에 대한 전체 워크시트를 SPAYN에 전송하여 추가적으로 통계를 분석하거나, TonyPlot에 전송하여 시각적으로 확인
• 고급 보안 기능으로 세밀한 접근 제어 가능

Rev. 091311_07