EXACT

Full Chip LPE Rule File Generator

EXACT는 나노미터 반도체 공정에 필요한 인터커넥트 모델을 가장 정확하게 표현하여, full-chip 레이아웃 파라미터 추출(LPE) 룰 파일을 생성합니다. EXACT의 강력한 3D 필드 솔버와 스크립트 언어는 full-chip 기생 추출을 지원합니다.

주요 특징

• 강력한 3D 필드 솔버는 불규칙적인 식각 프로파일, 듀얼 다마신(Dual Damascene), Low-K 유전체를 정확하게 모델링하는데 필요한 비평면 반도체 프로파일을 지원합니다.
• 3D 필드 솔버는 인터커넥트 캐패시턴스 모델을 계산하여, 추출 퍼포먼스의 저하없이 LPE 룰 파일을 가장 정확하게 표현합니다.
• 초보자와 공정 기술 경력자는 편리한 GUI를 사용하여, 공정 레이어를 기술하고 테스트 구조를 정의할 수 있습니다.
• 표준 동작 모드로 대부분의 보편적인 공정을 처리하며, 고급 모드로 보다 복잡한 비평면 공정을 정의합니다.
• 강력한 스크립트 언어로 데이터를 어떠한 포맷으로도 조작할 수 있습니다.

Rev. 102507_28