CLEVER

RC Extractor for Realistic 3D Structures

CLEVER는 물리 기반 RC 추출 툴로서, GDSII 마스크 데이터와 공정 정보를 이용하여, 자체 식각/증착 프로세서 및 광리소그래피 시뮬레이터로 MEMS, 고급 CMOS, TFT, 메모리 셀 등에 대한 실제적인 3D 구조를 생성합니다. CLEVER는 추출한 RC를 SPICE 넷리스트에 백-애노테이션합니다.

주요 특징

• 고급 리소그래피 및 실제적인 식각 증착 모델을 갖춘 진정한 3D 필드 솔버로서 인터커넥트 RC 추출에서 가능한 최고의 정확성을 나타냅니다.
• 65nm, 45nm 및 그 이하 등 지오메트리 크기에 제한이 없습니다.
• 백-엔드 공정 및 레이아웃 파라미터의 함수로서, 회로의 퍼포먼스를 최적화하기 위한 고속 피드백을 제공합니다.
• Adaptive Local Mesh Refinement에 기초한 솔루션으로 고도의 정확성 및 속도에 필요한 최적의 메쉬를 생성합니다.
• 경계 조건, 물성 및 솔루션의 허용 오차 제어를 사용자가 선택할 수 있습니다.
• 필드 솔버를 적용한 저항과 캐패시턴스를 추출된 능동 소자 넷리스트에 자동으로 백-애노테이션하여, SPICE 분석을 즉시 수행합니다.
• OPC(Optical Proximity Correction) 서브 파장 효과, PSM(Phase-Shifts Mask), misalignment, defocus, delta (CD) 등의 리소그래피 효과를 재생산할 수 있는 업계 유일의 RC 추출 툴입니다.

Rev. 020309_23