DevEdit

Structure and Mesh Editor

DevEdit는 스크래치(scratch)로부터의 소자 생성 또는 기존 소자의 메쉬 재구성/편집에 사용할 수 있습니다. DevEdit는 실바코의 2D/3D 시뮬레이터 및 기타 지원 툴에 간단하게 통합되는 표준적인 구조를 생성합니다.

주요 특징

영역 편집

• 임의의 물질 및 다각형 형태로 영역을 설정합니다.
• 물질, 형태, 또는 기본 불순물을 변경하여, 기존 영역을 수정합니다.
• 기존 소자에 새로운 영역을 추가합니다. 이 때, 자동으로 영역 일부를 식각하거나 변경되지 않은 상태로 유지합니다.
• 전극의 위치, 이름, 일함수를 정의합니다.

도핑 편집

• 가우시안 또는 상보적 오차 함수 등의 해석적인 도핑 프로파일을 부가합니다.
• 다수의 2D 소자를 결합하여, 신규 2D 도핑 프로파일을 생성합니다.
• 1D 도핑 프로파일을 가져옵니다.
• 1D 도핑 프로파일에 해석적인 도핑 프로파일을 더하여, 빠르고 실제적인 도핑 분포를 생성합니다.
  

2D 메쉬 구성

• 최소의 둔각 삼각형으로 고품질의 삼각형 메쉬를 생성합니다.
• 영역 내에서 세부 항목을 사용할 수 없는 요소를 제거할 때, 정제 조건을 이용하여 메쉬의 세부 사항을 보존합니다.
• 물질의 유형, 품질 변화, 위치 또는 상대적인 위치 등 여러가지 기준으로, 보존되는 세부 사항을 제어합니다.

3D 메쉬 구성:

• 2D 메쉬에 사용한 것과 동일한 알고리즘으로, 고품질의 각기둥 또는 사면체를 생성합니다.
• 이해할 수 있는 1 평면의 정제 조건을 간단하면서도 유연한 평면 생성 알고리즘에 의해 3차원으로 확장할 수 있습니다.

인터페이스

• ATHENA, ATLAS 등의 공정, 소자 시뮬레이터로 생성한 2D 구조를 읽습니다.
• SSuprem3, ATHENA의 1D 도핑 프로파일을 읽습니다.
• ATHENA, ATLAS 등의 공정, 소자 시뮬레이터에 필요한 2D 구조를 작성합니다.
• ATLAS-3D, VictoryDevice 등의 소자 시뮬레이터에 필요한 3D 구조를 작성합니다.
  

Rev. 112807_03